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一、優等品

1：硅片表面光滑潔凈。

2：TV：220±20μm。

3：幾(ji)何尺寸： 邊長(chang)125±0.5mm；對角(jiao)150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 邊長(chang)103±0.5mm、對角(jiao)135±0.5mm； 邊長(chang)150±0.5mm 、156±0.5mm、對角(jiao)203±0.5mm、200±0.5mm。     同心度(du)(du)：任(ren)(ren)意兩(liang)個弧的(de)弦長(chang)之差≤1mm。     垂(chui)直度(du)(du)：任(ren)(ren)意兩(liang)邊的(de)夾角(jiao)：90°±0.3。

二、合格(ge)品(pin)

一級品：

1：表面有少(shao)許污漬(zi)、輕微線痕(hen)。

2：220±20μm ≤TV≤220±30μm。

3：幾何尺寸： 邊長(chang)125±0.5mm；對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 邊長(chang)103±0.5mm、對角135±0.5mm； 邊長(chang)150±0.5mm 、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。      同(tong)心度：任意兩個弧的(de)弦(xian)長(chang)之(zhi)差(cha)≤1.2mm。     垂直度：任意兩邊的(de)夾角：90°±0.5。

二級品：

1：表面有少(shao)許(xu)污漬、線(xian)痕、凹痕，輕微崩(beng)邊(bian)。

2： 220±30μm ≤TV≤220±40μm。

3：凹(ao)痕：硅片表面凹(ao)痕之和(he)≤30μm。

4：崩邊范圍：崩邊口不是三角形狀，崩邊口長度(du)≤1mm，深(shen)度(du)≤0.5mm

5：幾何尺寸(cun)： 邊長(chang)(chang)125±0.52mm；對角(jiao)150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm； 邊長(chang)(chang)103±0.52mm、對角(jiao)135±0.52mm； 邊長(chang)(chang)150±0.52mm 、156±0.52mm、對角(jiao)203±0.52mm、200±0.52mm。     同心度：任意兩(liang)個弧的弦長(chang)(chang)之差≤1.5mm。     垂直度：任意兩(liang)邊的夾角(jiao)：90°±0.8。

三(san)級品：

1：表(biao)面有(you)油(you)污但硅片(pian)顏色(se)不發黑，有(you)線痕(hen)和硅落現象。

2：220±40μm ≤TV≤220±60μm。

3：硅(gui)落：整張(zhang)硅(gui)片邊緣硅(gui)晶脫(tuo)落或(huo)部(bu)分硅(gui)晶脫(tuo)落。

三(san)、不合格品

嚴重(zhong)線痕、厚薄片(pian)：TV＞220±60μm。

崩(beng)邊片：有缺損但(dan)可以(yi)改Φ103的硅片。

氣孔片(pian)：硅片(pian)中間有穿孔 。

外形片：切方滾(gun)圓未能(neng)磨出(chu)的硅片。

倒角片（同心度）：任意兩個弧的弦長之差>1.5mm。
菱形片（垂直度）：任意兩邊的夾角>90°±0.8。

凹痕(hen)片：硅片兩面(mian)凹痕(hen)之和＞30μm。

臟  片(pian)：硅片(pian)表面有嚴重污漬且發(fa)黃(huang)發(fa)黑。

尺寸偏差片：幾何尺寸超過二級品的范圍。